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防護(hù)罩外型尺寸：2600mm*2400mm
配合TOM-850L臺正光機(jī)：支持X向行程800mm，

防護(hù)罩外型尺寸：4300mm*2250mm
配合TOM-1580臺正光機(jī)：支持X向行程1500m

防護(hù)罩外型尺寸：3370mm*2100mm
配合TOM-1060臺正光機(jī)：支持X向行程1000m

防護(hù)罩外型尺寸：2500mm*1970mm
配合TOM-850B臺正光機(jī)：支持X向行程800mm，